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leyu乐鱼(中国)官方网站-登录入口切割机表面如何镀膜?

leyu乐鱼(中国)官方网站-登录入口 人气:4220 发表时间:2021-08-03

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    工艺气体布气均匀性


    作为膜层均匀性控制的主要手段之一,工艺气体布气均匀性非常重要。我们采用如下二种方法确保工艺气体沿leyu乐鱼(中国)官方网站-登录入口板宽方向分布的均匀性:


    布气管路分为主管和辅管,主管由3个质量流量计分别控制leyu乐鱼(中国)官方网站-登录入口切割机气的供气量,辅管根据阴极宽度分为3~7段,每段由一个质量流量计单独控制工艺气体流量。